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  • 中国科研机构发明新型激光直写光刻机

    据中新网消息(鲍梦妮),4月10日,浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室在杭州举行成果发布会,宣布成功研发万通道3D纳米激光直写光刻机,为超分辨光刻、光子芯片制造、高端掩模版加工等领域提供关键技术...

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