近日，珠海光库科技股份有限公司正式宣布，依托工艺升级与产能优化，德国 RAITH EBL 5150 Plus 高精度电子束光刻系统对外全面开放，面向科研院所与产业客户提供一站式 EBL 微纳加工代工服...

据中新网消息（鲍梦妮），4月10日，浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室在杭州举行成果发布会，宣布成功研发万通道3D纳米激光直写光刻机，为超分辨光刻、光子芯片制造、高端掩模版加工等领域提供关键技术...